多晶硅還原電極如何延長(zhǎng)使用壽命

?因?yàn)楝F(xiàn)有還原爐的每個(gè)電極上固定的是1根硅芯，而多晶硅還原電極發(fā)熱體的每個(gè)電極上固定的是4根硅芯，如果所用的硅芯與現(xiàn)有還原爐發(fā)熱體一樣長(zhǎng)、一樣的直徑，多晶硅還原電極發(fā)熱體的表面積就是現(xiàn)有發(fā)熱體硅芯的4倍。如果還原爐里的壓力、流量和溫度等工藝條件不變，采用該發(fā)熱體的生產(chǎn)速度就是原來的4倍，因此，多晶硅還原電極發(fā)熱體可以大幅度加快生產(chǎn)速度。采用多晶硅還原電極發(fā)熱體，除了石墨電極不同外，還原爐的其他部件都不需要作任何改動(dòng)，所以用起來比較容易。由于還原爐沒有變，所以三氯氫硅和氫氣的流量也可以不變，也就是說，生產(chǎn)的速度快了，生產(chǎn)的多晶硅多了，而尾氣帶出的熱量沒有變，損失的電能是一樣的，因此，可以節(jié)約電能，降低生產(chǎn)成本。